气体结合到固体上去的质量传递过程。气体（吸附质）进入固体（吸附剂）的孔隙中但并未进入其晶格内。吸附过程可能是物理过程，也可能是化学过程。

工作原理：

   当废气由风机提供动力，负压进入吸附箱后进入活性炭附层，由于活性炭吸附剂表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，因此当活性炭吸附剂的表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在活性炭表面，此现象称为吸附。利用活性炭吸附剂表面的吸附能力，使废气与大表面的多孔性活性炭吸附剂相接触，废气中的污染物被吸附活性炭吸附箱是一种干式废气处理设备，由箱体和填装在箱体内的吸附单元组成。

热分解工艺一般分为蓄热燃烧(RTO)、催化燃烧（CO）、蓄热催化燃烧（RCO），只是燃烧方式和换热方式和两两不同组合，主要是用于处理吸附浓缩气，也可以用于直接处理废气浓度>3.5g/m³的中高浓度废气。